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如何制作碳化硅?

更新時間:2021-07-16 關注:2903


    碳化硅,也叫SiC,是一種半導體基材,由純硅和純碳組成。氮和磷在SiC中混合形成n型半導體,或者與鈹、硼、鋁或鎵混合形成p型半導體。雖然碳化硅種類多、純度高,但是半導體級碳化硅是近幾十年才出現(xiàn)的。


    制作碳化硅比較簡單的方法是將硅砂和碳在2500攝氏度的高溫中熔化(如煤)。深色和普通的碳化硅通常含有鐵和碳雜質,但是在2700攝氏度升華時,純碳化硅是無色的。受熱后,該晶體在較低溫度下沉積于石墨上。

如何制作碳化硅?

    Lely法:在這個過程中,花崗巖坩堝通過感應加熱,得到高溫升華碳化硅粉末。石墨棒低溫浮在氣體混合物中,純碳化硅自然堆積成晶體。


    -化學蒸氣沉積:制造商也可以用化學蒸氣沉積法生長立方SiC,通常用于碳基合成工藝和半導體工業(yè)。一種特殊的混合化學氣體進入真空環(huán)境,在沉積到底部前合并。


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